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激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運(yùn)動，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。

P76系列壓電物鏡定位器可快速調(diào)節(jié)聚焦點(diǎn)即加工點(diǎn)的位置，使其在目標(biāo)切割位置，聚焦行程可達(dá)110μm，分辨率可達(dá)2.5nm。

P76系列壓電物鏡定位器為大負(fù)載Z軸運(yùn)動壓電物鏡定位器，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸直線運(yùn)動范圍可達(dá)110μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無摩擦，直線性好，閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號的顯微鏡。

<<特點(diǎn)

• 大行程110μm

• 大承載500g

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高電

• 聚焦穩(wěn)定性好  

<<大負(fù)載、高頻響、高分辨率

P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是為了大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到快的階躍時間。它極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非?？斓姆€(wěn)定時間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同時保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動態(tài)性。

P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。

<<頻率負(fù)載曲線

<<開/閉環(huán)曲線（帶載500g）

<<螺紋適配器便于安裝

P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。

<<技術(shù)參數(shù)