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在實(shí)際的應(yīng)用中，特別是科研領(lǐng)域，經(jīng)常需要較高分辨率的圖像，所以如何利用現(xiàn)有工藝水平下的CCD圖像傳感器件，獲得更高的分辨率就成了一個(gè)關(guān)鍵的問題。目前比較有效的一種方法是采用被攝物成的像與CCD圖像傳感器之間發(fā)生微小相對位移來記錄多幅圖像，然后利用多次采集的原始圖像來合成高分辨率的圖像。

實(shí)際成像系統(tǒng)涉及光、電、機(jī)、算等多方面的內(nèi)容，其系統(tǒng)組成如下圖所示。

通過算法將多幅微位移圖像融合，在這過程中會將CCD圖像傳感器的固有誤差放大，會限制合成圖像的分辨率。CCD圖像傳感器微小位移的精確性直接影響超分辨率重建結(jié)果的質(zhì)量。因此應(yīng)用中選擇一款精度高、性能穩(wěn)定的微位移系統(tǒng)就至關(guān)重要了。芯明天高精度壓電掃描臺以其納米級的精度、穩(wěn)定的控制、便捷的操作成為提高CCD分辨率的*。

P12A系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號 , 外觀相同。

特點(diǎn)：

• 位移可達(dá)100μm/軸

• 承載能力可達(dá)0.7kg

• 臺體中心方形通孔 45×45mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 開/閉環(huán)可選

• 真空版本可選

P16.XY20系列壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，中心通孔孔徑為 26mm，可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。

特點(diǎn)：

• 位移可達(dá)±10μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸：Ø26mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 開環(huán)閉環(huán)可選

• 可定制

P17.XY15系列壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，采用XY軸一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，中心橢圓通孔尺寸約為25×27.5mm，產(chǎn)品體積小巧、性能穩(wěn)定，P17.XY15系列掃描臺為開環(huán)版本、動態(tài)性好，適用于動態(tài)掃描應(yīng)用領(lǐng)域。

特點(diǎn)：
• 位移可達(dá)15μm

• 承載能力0.2kg

• 橢圓通孔尺寸：25×27.5mm

• 亞納米級分辨率

• 真空版本可選