S22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動消除）及光學和樣品的靜態(tài)定位。

特性：

• θx一維偏轉(zhuǎn) • 大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 亞毫秒響應時間 • 閉環(huán)定位精度高

典型應用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動

• 激光掃描 • 光束偏轉(zhuǎn)

• 光學濾波器/開關

結構原理

小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸 鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個 鉸鏈單個促動器設計的優(yōu)點是結構簡單、體積小巧、性價比高 等。如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分 驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

  壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉(zhuǎn)，相移 器）提供比音圈電機類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 為4mrad，偏轉(zhuǎn)分辨率達0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器 包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣龋蓭лd?15mm的 鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

S22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡技術參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。