XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)是采用VS12系列促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、快速響應(yīng)、高可靠性和長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)，SGS傳感器實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)、高諧振頻率和更大的拉力是該定位臺(tái)的優(yōu)勢(shì)。該系列定位臺(tái)可以組合成二維、三維的微動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品。
XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直接驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有快速響應(yīng)、高可靠性和長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)，該系列微動(dòng)臺(tái)可以組合成二維、三維的微動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品。
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