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   P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

P17壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定    
• 掃描顯微
• 干涉/計量    • 表面檢測
• 晶圓定位    • 微操作

應(yīng)用實例
    P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

P17壓電掃描臺特性

•zui大位移210μm

• zui大承載1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

XY二維掃描臺

      P17二維壓電掃描臺中心大通孔，滿行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快

   P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度 掃描臺，可以實現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程，優(yōu)異 的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、zui快的 響應(yīng)時間可達(dá)5毫秒。

    閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心 60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微 操作等應(yīng)用。

P17壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。